最佳工艺参数预测方法、系统、设备及存储介质

本申请提供了一种最佳工艺参数预测方法、系统、设备及存储介质，该方法包括：采集半导体性能测试数据，所述半导体性能测试数据包括被测试件的工艺参数和被测试件的性能数据；基于所述半导体性能测试数据训练机器学习模型，得到训练好的工艺参数预测模型，所述工艺参数预测模型用于预测各种工艺参数组合能满足的性能要求，并选择能满足特定性能要求的工艺参数组合；设定目标性能要求，基于所述工艺参数预测模型获取满足所述目标性能要求的最佳工艺参数组合；验证所述最佳工艺参数组合是否符合所述目标性能要求。本申请摒弃了基于经验的传统试错实验方法或模拟计算方法，提高了最佳工艺参数寻找效率，显著缩短研发周期。