一种半导体芯片吸光度检测装置

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一种半导体芯片吸光度检测装置
申请号:CN202510245289
申请日期:2025-03-03
公开号:CN120064126A
公开日期:2025-05-30
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种半导体芯片吸光度检测装置,具体涉及吸光度检测技术领域,包括套架、支框、套接滑块以及倾斜变换检测组件;其中倾斜变换检测组件包括电缸、变位框、导向滑杆、倾斜套块、倾斜导杆、倾斜框、连接架、支撑框,还包括变位检测组件和切换检测组件。本发明采用倾斜变换检测组件,具有方便检测检测芯片的不同点位的吸光度,可以实现倾斜多点位检测,不仅检测更加全面,而且大幅度提高检测效率的优点,从而解决了由于半导体芯片面点位较多,难以根据需要对多个半导体芯片快速进行切换检测,同时难以实现倾斜多点位检测,不仅检测不够全面,而且检测效率较低的问题。
技术关键词
吸光度检测装置 半导体芯片 检测组件 光度检测技术 旋转电机 调节电机 光敏传感器 电缸 光滑面 距离传感器 检测芯片 滑杆 导杆 定位框 滑块 螺杆 框架 面点 框条 光源
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