一种真空摆阀以及真空压力控制系统

本申请公开了一种真空摆阀以及真空压力控制系统，真空摆阀包括阀体、阀板、阀杆、步进电机、联轴器以及编码器。阀体上设有供流体通过的通道。阀板可转动地设于阀体内并用于调节通道的开度。阀杆可转动地穿入阀体并与阀板固定连接。步进电机固定在阀体外并通过联轴器连接阀杆。编码器包括固定套设在阀杆上的光栅部位，以及相对于阀体固定且用于感应光栅部位的感应部位。其中，当步进电机通过阀杆驱动阀板在阀体内旋转，编码器的感应部位能够感应光栅部位相对其的运动，并基于感应结果获得阀板的运动参数。本真空摆阀消除了现有的真空摆阀的控制死区，提高了真空摆阀的控制精度，增强了真空系统真空度的稳定性。