一种多传感器融合感知的激光微纳制造系统及方法

本发明涉及一种多传感器融合感知的激光微纳制造系统及方法，属于激光微纳制造技术领域。该系统采用多传感器组合形式感知激光微纳制造系统中的样品结构信息，并对待加工样品进行三维建模。通过多传感器的采集数据进行融合获得样品三维模型，运用闭环反馈控制算法，实现激光加工的精准定位。本发明采用多传感器融合实现了对样品三维模型建立，运用闭环控制实现微纳制造，支持高精度制造需求，且实现成本较低。解决了传统激光微纳制造过程中对复杂不规则结构样件缺少三维结构数据，导致加工过程存在误差问题。