一种等相位霍尔传感器三自由度位移测量方法及设备

一种等相位霍尔传感器三自由度位移测量方法及设备，属于电机领域，该等相位霍尔传感器三自由度位移测量设备包括Halbach平面磁铁、霍尔传感器、信号处理系统、磁悬浮平面电机以及反馈控制系统。该等相位霍尔传感器三自由度位移测量方法包括在磁悬浮平面电机中，确定霍尔传感器的布置；霍尔传感器通过霍尔效应测量通过其位置的磁场强度；通过四象限反正切法，将测得的磁场强度转换成磁场相位；根据磁铁的磁场特性，将磁场相位与位移之间建立关系；处理四组霍尔传感器数据，计算电机转角；通过霍尔传感器测得的位移数据，实时反馈至电机的控制系统。本发明使用等相位霍尔传感器阵列结合四象限反正切法精准测量磁悬浮平面电机的位移。