一种激光退火探头能量监测方法、装置、存储介质及设备

本发明提出一种激光退火探头能量监测方法、装置、存储介质及设备，包括：获取目标图像，其中，目标图像为生产过程中进行激光退火后的目标晶圆背面的目标区域所对应的图像；将目标图像输入目标网络模型，目标网络模型输出目标区域进行激光退火时的探头能量值；其中，目标网络模型为用于训练的样本晶圆与目标晶圆匹配的神经网络模型。在后续IGBT晶圆片过货激光退火工艺时，可直接监控晶圆片背面特殊纹路印记深浅，进而获得激光退火工艺时使用的能量。及时在线监测激光退火中的能量，便于排查芯片测试参数异常时直接抓取数据，节约失效分析中扩展方块电阻测试的时间。