摘要
本发明公开了一种Mini LED分选方法,所述Mini LED分选方法包括:在掩膜版上设置有三个以上的对比图案,并设置对比图像的预设坐标值;基于分选设备设置所述掩膜版与晶圆进行对比分析,输出掩膜版和晶圆的匹配坐标值;在MES系统内将预设坐标值和匹配坐标值进行差值计算,输出差值运算结果;基于差值运算结果是否等于0,若是,则进行分选操作,若否,则暂停所述分选设备的分选操作。针对晶圆规格在对应的掩膜版上设置对比图案,并根据对比图案设置预设坐标,结合晶圆分选匹配获取匹配坐标后进行对比检测,提高芯片分选的晶圆和掩膜版匹配的准确性,从而提高Mini LED芯片的分选效率和分选质量。
技术关键词
分选方法
分选设备
掩膜
坐标
图像
MES系统
图案
芯片
拍摄组件
晶圆
误差
位点
标记
视觉
尺寸
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