摘要
本发明公开一种并行多流体同步泵送的微蠕动泵,包括:流道层设置有若干组流体驱动输送结构和稳流结构,流体驱动输送结构中入口储液腔与环形驱动流道之间以及出口储液腔与环形驱动流道之间连接输送直流道,稳流结构包括连接于出口储液腔与环形驱动流道之间输送直流道上若干连通的稳流腔室,稳流腔室下底部与基材层密封连接,上顶部与薄膜层密封连接;驱动结构循环挤压环形驱动流道使得环形驱动流道内部产生负压,工作流体从入口储液腔进入,经过输送直流道、环形驱动流道和稳流结构,从出口储液腔稳定输出无脉冲工作流体;控制模块向驱动结构提供动能。本发明实现微蠕动泵多流量精确泵送。
技术关键词
稳流结构
蠕动泵
驱动结构
流道
薄膜层
输送结构
工作流体
环形
弹性橡胶材料
步进电机
控制模块
微流控芯片
高分子聚合物
轴承滚子
基材
入口
凹陷结构
驱动器
低流速
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