一种多路功率器件可靠性测试装置及健康监测方法

本发明公开了一种多路功率器件可靠性测试装置及健康监测方法，包括多个待测器件测试通路，每个测试通路包括待测器件、第一开关、第二开关、限流电阻及采样电阻；第一开关通过限流电阻与待测器件的栅极连接，所述待测器件的漏极通过采样电阻接地，所述第一开关的源极与第二开关连接，所述第一开关设有三个触点，所述第二开关设有三个触点，对于每个测试通路，可以在HTGB、HTRB以及Vth三种测试模式间任意切换。