一种垂直结构LED芯片及其制作方法

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一种垂直结构LED芯片及其制作方法
申请号:CN202510302286
申请日期:2025-03-14
公开号:CN119967960A
公开日期:2025-05-09
类型:发明专利
摘要
一种垂直结构LED芯片及其制作方法,垂直结构LED芯片包括基板以及位于基板一侧表面的键合金属层和第一绝缘层、第二反射结构和外延叠层。外延叠层包括沿背离基板的方向依次层叠的第一型半导体层、有源层和第二型半导体层;外延叠层设有至少贯穿第一型半导体层和有源层,并暴露部分第二型半导体层的通孔;在第二型半导体层背离有源层的一侧表面设有与通孔对应的凸台。通过在设置与通孔对应的凸台,使得LED芯片的出光在通孔区域的散射更加充分,提高LED芯片的出光效率,提高LED芯片在通孔区域的亮度。
技术关键词
金属反射层 半导体层 反射结构 生长衬底 叠层 基板 外延 LED芯片 通孔 阻挡层 凸台 半导体材料 氟化镁 端点 氮化钛 氧化硅 导电 层叠
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