摘要
一种垂直结构LED芯片及其制作方法,垂直结构LED芯片包括基板以及位于基板一侧表面的键合金属层和第一绝缘层、第二反射结构和外延叠层。外延叠层包括沿背离基板的方向依次层叠的第一型半导体层、有源层和第二型半导体层;外延叠层设有至少贯穿第一型半导体层和有源层,并暴露部分第二型半导体层的通孔;在第二型半导体层背离有源层的一侧表面设有与通孔对应的凸台。通过在设置与通孔对应的凸台,使得LED芯片的出光在通孔区域的散射更加充分,提高LED芯片的出光效率,提高LED芯片在通孔区域的亮度。
技术关键词
金属反射层
半导体层
反射结构
生长衬底
叠层
基板
外延
LED芯片
通孔
阻挡层
凸台
半导体材料
氟化镁
端点
氮化钛
氧化硅
导电
层叠
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