摘要
本发明公开一种扇出型传感器的封装结构及封装方法,涉及传感器封装的技术领域,解决现有传感器封装方法制得的结构尺寸较大,互联路径较长,传感器性能不佳的技术问题。该结构包括传感器芯片、绝缘密封树脂、金属电极、玻璃和金属焊球,传感器芯片的第一表面包括电性焊盘区和感应区,玻璃与感应区相互匹配,玻璃的下表面粘附在感应区上;金属电极的第一端与电性焊盘区电连接,金属电极的第二端与金属焊球电连接;绝缘密封树脂包覆传感器芯片和金属电极,且绝缘密封树脂的上表面与玻璃的上表面齐平。本发明使用绝缘密封树脂和金属电极,完成传感器芯片的封装,金属电极与金属焊球的配合,缩短封装线路的路径,提升传感器的响应速度,减小封装体积。
技术关键词
传感器芯片
金属电极
封装结构
金属焊球
玻璃
绝缘
传感器封装方法
焊接金属
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环氧树脂胶
金属材料
干膜
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电镀
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