平行平板平行度测量方法

本发明公开了一种平行平板平行度测量方法，包括以下步骤：S1、通过干涉仪采集平行平板自干涉条纹；S2、对所采集的自干涉条纹预处理，并利用中值滤波滤除条纹图中的噪声；S3、利用区域生长算法对图像进行分割处理；S4、利用联通区域算法统计明条纹数目以计算平行度。本发明通过将待测样品放置在工作台上，并调整好干涉仪光路，以采集待测样品的自干涉条纹图，并通过对自干涉条纹图进行处理，利用区域生长算法对平行平板的自干涉条纹图进行图像分割，再利用连通区域算法统计图像分割后的明条纹个数，进而实现对于待测样品的平行度的测量，该方法适用于平行度较好的平行平板的测量，且测量精度高。