摘要
本说明书提供有信号采集的定位方法及装置。应用于采集设备,采集设备包括电磁采集探头、信号检测模块和控制云台,该方法包括:控制云台控制电磁采集探头移动至与芯片的表面相距预设垂直距离的垂直位置;保持垂直位置不变,控制云台控制电磁采集探头在与芯片的表面平行的水平面采集各个水平位置的电磁信号,并由信号检测模块计算各个水平位置采集到的电磁信号的信噪比;控制云台控制电磁采集探头移动至信噪比最大的目标水平位置;保持目标水平位置不变,控制云台控制电磁采集探头在与芯片的表面的垂直方向采集各个垂直位置的电磁信号,并由信号检测模块计算各个垂直位置的信号强度;控制云台控制电磁采集探头移动至信号强度最大的目标垂直位置。
技术关键词
电磁
云台
探头
视觉检测模块
采集设备
信号
芯片
电子显微镜
信噪比
测距算法
定位单元
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