一种高性能电阻型深低温温度传感器及制造工艺

本发明提供一种高性能电阻型深低温温度传感器及制造工艺，属于深低温温度传感器技术领域。所述高性能电阻型深低温温度传感器为叠层结构，包括：器件衬底，沉积在所述器件衬底上的敏感层薄膜，沉积在所述敏感层薄膜上的电极层薄膜，电极层薄膜经刻蚀后所形成的叉指图形；所述敏感层薄膜为过渡金属铪或锆的单氮化物，所述电极层薄膜也为过渡金属铪或锆的单氮化物，两层薄膜的材料相同，但各自元素含量不同，物相体系不同。本发明能够在保证温度传感器具有高的灵敏度和精度的前提下，减少敏感层薄膜和电极层薄膜的开裂脱落、提升器件的寿命和可靠性，显著提高器件的应用稳定性；可在低温温度传感器技术领域广泛推广。