摘要
本发明为具有双通道空穴注入功能的LED的芯片结构及其制备方法。该结构在P型GaN层上外延生长三明治结构的本征层和N型GaN层,即让P区上方的GaN层完全吸收光子,在材料吸收光子后,产生光生电子和空穴,通过调节该部分材料的电场,光生空穴能够重新注入量子阱并通过辐射复合发射光子,从而有效避免了传统方法中顶部GaN层吸收光子但光生空穴未被有效利用的问题。本发明能够显著提高的器件顶部的光子的利用率,从而增加衬底的出光。
技术关键词
欧姆电极
芯片结构
接触层
电子阻挡层
反应炉
夹层结构
金属有机化合物
外延
空穴传输层
衬底
量子阱层
缓冲层
光刻
干法刻蚀工艺
三明治结构
GaN层
石英玻璃
半导体
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外延片结构
芯片结构
电流扩展层
电极
AlN缓冲层