图像处理方法、光学检测系统及电子设备

本申请公开了一种图像处理方法、光学检测系统及电子设备，涉及半导体精密检测技术领域。该方法在采集每个图形单元时，获取待检测晶圆在第一方向上的第一位置信息，并通过与待检测晶圆的初始位置信息比较，确定每个检测图像在晶圆抖动时发生的第一偏差，通过该第一偏差可以实现对待检测晶圆的初始检测图像中的每个检测图像进行纠正复位，从而通过软件算法解决了因晶圆抖动出现的检测图像扭曲的技术问题，与提升硬件设备性能相比，本申请实施例提供的图像处理方法节约了硬件设备提升所需的成本，消除了硬件设备性能提升上限对晶圆检测图像纠正的限制。