一种反应腔压力控制方法、装置、电子设备及存储介质

本发明涉及一般的控制或调节系统，尤其涉及一种反应腔压力控制方法、装置、电子设备及存储介质，方法包括：在将反应腔中的气压降至预设底压后，利用反应腔中的当前气压以及预设的目标气压之间的差值作为参考，调整第一蝶阀阀门的开度，并基于第一蝶阀阀门的开度调整第二蝶阀阀门的开度，形成了第一蝶阀主动控制，第二蝶阀从动控制的串级控制系统，使得第一蝶阀以及第二蝶阀的开度变化同步，避免由于气流的变化，导致两个蝶阀分别独立控制两排气管道造成的开启角度不一致，从而导致腔内气体不能按预设方向流动导致的成膜质量偏差问题，提高了反应腔中的压力稳定性。