一种自动聚焦方法、半导体的检测方法和检测设备

一种自动聚焦方法、半导体的检测方法和检测设备，其中：获取该扫描位置沿所述物镜的光轴方向对应的运动补偿量，运动补偿量基于表征待测样品表面高度分布的预扫描信息确定；基于扫描位置的运动补偿量，控制承载有待测样品的载物台与物镜沿光轴方向相对运动以对待测样品与物镜在沿光轴方向上的距离进行运动补偿；对扫描位置进行运动补偿后，在扫描位置基于目标聚焦算法对待测样品进行聚焦。通过本申请能够克服由于待测样品表面高度差较大容易导致跟焦灵敏度下降甚至离焦的问题。