一种基于多维度智能决策的工业机器人半导体掺杂系统

本发明属于信息技术领域，具体涉一种基于多维度智能决策的工业机器人半导体掺杂系统。通过在掺杂设备上集成多类传感器与数据采集设备，运用多传感器融合、多模态数据采集技术，结合实时校正、自适应调控及强化学习等算法，实现对掺杂精度、均匀性的智能控制与优化，提升掺杂效率。同时，借助数字孪生与虚拟仿真预规划工艺，利用多机器人协同与智能调度优化大规模生产。该技术有效解决现有掺杂技术难题，显著提高半导体掺杂质量与生产效率，推动半导体制造技术升级。