一种有源固晶系统及其操作方法

本发明属于光器件或系统的制造技术领域，尤其涉及一种有源固晶系统及其操作方法，其特征在于，包括底板、载物台，六轴微调台经操作臂连接吸嘴，载物台上设有芯片区和固晶区，四通道合波器通过陶瓷插芯连接光功率计；吸嘴经管路连接真空泵，吸嘴上设有正/负电极，正/负电极经导线连接加电源；操作六轴微调台将光芯片从芯片区移到固晶区的陶瓷基板上，整个过程光芯片处于发光的状态，并通过四通道合波器对光芯片的位置进行校正，直到光功率计的功率处于最大值，将光芯片用胶水固定到陶瓷基板上即可。本发明的有益效果是：在固晶过程中光芯片可保持发光状态，这样可以看着陶瓷插芯的输出光功率来调整芯片的位置，提升生产的良率。