搬运机器人

构成搬运机器人(100)的第一基板保持装置(2)具备：多个手(3)，其具有手叉(31)；可变机构(4)，其改变多个手叉之间的间距；基座部件(6)，其供多个手和可变机构安装；以及多个引导机构(8)，其将多个手分别保持为能够沿Z轴方向移动。可变机构具备：驱动部(42)，其使以沿X轴方向延伸的轴线为中心的旋转轴部(41)旋转；杆部件(43)，其第一端部(433)与旋转轴部连接并绕轴线旋转；以及多个连接部(44)，其配置于从沿着杆部件的长度方向离开旋转轴部规定距离的位置起等间隔隔开的位置，并将多个手分别与杆部件连接。当杆部件绕轴线旋转时，多个手分别沿Z轴方向移动，从而改变多个手叉(31)之间的间距。