用于大幅面印刷电路板数字光刻系统的自标定方法及系统

本发明公开了大幅面印刷电路板数字光刻系统的自标定方法及系统，包括工业相机，精密运动平台，相机光源，变色膜模块，光刻镜头模组等部分；本方法包含三个标定项，CCD位置关系标定、光刻镜头模组位置关系标定、对位坐标系与光刻坐标系偏移标定，使用变色膜模块光刻包含标定数据的圆靶标阵列，再利用基于改进Zernike矩的亚像素圆识别算法得到靶标位置坐标，与系统标定基准数据比对，进行误差补偿，实现对大幅面印刷电路板数字光刻系统的自标定。本发明几乎覆盖了数字光刻系统可能产生偏移误差的各方面，有效的实现了对误差数据的采集和补偿，同时采用模块化的设计，便于后期添加其他标定项目。