泛半导体工业运维数据异常设备的检测方法和装置

本申请公开了一种泛半导体工业运维数据异常设备的检测方法和装置，涉及异常设备检测技术领域。其中，方法包括：获取泛半导体工业设备的初始历史运维数据；对初始历史运维数据进行预处理，以得到满足预设条件的历史运维数据；根据历史运维数据生成模型训练集，并利用模型训练集训练异常设备检测模型，以构建用于检测泛半导体工业运维数据设备是否异常的异常设备检测模型。本申请的检测方法，根据泛半导体工业设备的历史运维数据对异常设备检测模型进行训练，并使用异常设备检测模型检测泛半导体工业运维数据设备是否异常。如此，能够准确地捕获和识别设备数据中的异常情况，提高生产效率和减少维护成本。