一种面向超快激光加工的工业机器人末端执行器

本发明公开了一种面向超快激光加工的工业机器人末端执行器，包括：3D振镜模块、法向调姿模块、超快激光传输模块、反射镜模块、偏振分光模块、安装框架和视觉定位模块；其中，超快激光传输模块、反射镜模块、偏振分光模块和3D振镜模块相互连接，并最终安装固定在安装框架上；法向调姿模块和视觉定位模块分别直接安装固定在安装框架上。本发明所述末端执行器，能够与工业机器人系统进行集成，利用工业机器人的柔性拓展超快激光可加工结构尺度，通过末端执行器多传感器融合实现工业机器人末端精度定位，进一步提高大尺寸范围内的加工精度，从而实现卫星大型复合材料结构高精度、低损伤加工。