一种电子芯片缺陷检测装置及方法

本发明涉及芯片缺陷检测技术领域，具体公开了一种电子芯片缺陷检测装置及方法，其中装置包括表面安装有仓门的机体，机体的内部设有检测腔，在检测腔内分别安装有检测工位和检测组件；检测工位包括工位盘，在工位盘的中间位置处开设凹槽，在凹槽的上部设有多个用于夹持待测芯片的夹紧件，夹紧件与位于工位盘下部的旋转机构相连接，通过旋转机构用于驱动夹紧件转动；检测组件设于工位盘的上方，且其包括检测杆和检测头，检测杆的底部与检测头相连接，且检测杆与检测腔之间通过角度摆动机构相连接，通过角度摆动机构，对检测头的检测角度进行摆动调整，实现对待测芯片进行全面多角度检测，提升装置检测效率和检测精度。