一种氮化镓芯片高温测试自动出入料机构及方法

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一种氮化镓芯片高温测试自动出入料机构及方法
申请号:CN202510406879
申请日期:2025-04-02
公开号:CN120294536A
公开日期:2025-07-11
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种氮化镓芯片高温测试自动出入料机构及方法,涉及芯片高温测试出入料技术领域。一种氮化镓芯片高温测试自动出入料机构,包括测试台,还包括:转动设置在所述测试台内的运输盘,且运输盘与测试台滑动并密封,所述运输盘上设置有放置槽,所述测试台的底部固定安装有第一电机,所述第一电机的输出轴与运输盘固定连接;本发明通过使运输盘与测试台滑动并密封,确保了测试过程中内部温度的稳定,减少了热量损失,降低了加热能耗,同时加热部通过电加热器对氮化镓芯片进行精准加热至测试温度,测试组件则通过探针与芯片的端子接触进行高温测试,同时利用活塞筒内的压缩空气实现耐高压测试,确保了测试的全面性和准确性。
技术关键词
氮化镓芯片 测试台 料机构 抓取头 测试组件 安装板 风罩 通风管 活塞 隔热罩 升降气缸 加热 测试仪 电机 安装台 位置校准 探针 安装杆 限位柱 传输方法
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