摘要
本发明公开了一种磷化铟光电芯片封装装置,涉及芯片封装技术领域,结构包括位移单元、封装单元和平台构件,位移单元负责驱动封装单元在三维空间内移动,实现芯片在不同工位间的精确转移和定位,其驱动元件可以是电机、气缸或液压缸等,封装单元包含一个至少有一个平面的板构件,以及布置在板构件平面上的多个封装器件,封装器件的结构包括壳构件、限位构件和压力构件,壳构件具有第一空腔,用于在封装过程中容纳封装材料,其一侧表面开设有出料口,限位构件布置在壳构件的出料口位置,设有与芯片尺寸相匹配的第一间隙,用于抓取和放置芯片。压力构件作用于壳构件的第一空腔内,通过施加压力推动封装材料流出。
技术关键词
光电芯片
封装装置
封装单元
磷化铟
限位构件
轨道构件
VCSEL激光器
封装器件
夹持构件
滑动构件
出料口位置
光固化压敏胶
输送转移装置
光电探测器
空腔
封装材料
芯片封装技术
框体
纳米硅胶
电磁铁
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