一种晶圆加工用混合工艺高效双腔炉管

本发明公开了一种晶圆加工用混合工艺高效双腔炉管，涉及晶圆加工技术领域，其中，晶圆加工用混合工艺高效双腔炉管，包括机体与传送结构；本发明的技术方案通过并列设置第一工艺腔体与第二工艺腔体，且分别在第一工艺腔体内设置第一工艺加工装置以及第二工艺腔体内设置第二工艺加工装置，以此使得双腔结构的炉管实现不同工艺步骤，而将升降组件与机械臂组设置在晶圆存储部以及第一工艺腔体与第二工艺腔体之间，以便于机械臂组能够实现第一工艺加工装置、第二工艺加工装置与晶圆存储部之间晶圆的高效循环，以此解决了双腔结构炉管的两种加工工艺的连续转换，提高生产效率。