摘要
本发明公开了一种基于Transformer的端到端芯片版图热点检测方法,将芯片版图数据转换为二值图像数据,输入到GPU驱动的光刻仿真器中得到光刻后的打印图像,与原二值图像进行度量,得到潜在热点的位置信息;根据原二值图像及光刻后打印图像得到的先验光刻信息,输入训练好的基于transformer的端到端热点检测器,输出热点的位置信息并框选,对版图中的热点进行定位。本发明方法由GPU加速的光刻仿真器驱动,消除了对数据集相关超参数的需求,显著提高了灵活性,减少了计算资源的消耗,同时光刻仿真器的先验知识被集成到框架中,指导热点检测模型聚焦于潜在的热点区域,显著提高了解释性和泛化能力。
技术关键词
热点检测方法
测试芯片版图
光刻
仿真器
前馈神经网络
解码器
注意力
编码器
度量
位置先验信息
sigmoid函数
二值图像数据
光学投影系统
检测器
像素
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