摘要
本发明公开了一种半导体封装中的表面贴装检测系统,涉及自动化检测领域,包括,数据采集模块,实时采集半导体封装表面的温度信息、形貌图像和反射光图像,同时收集半导体封装的历史数据,预处理模块,对采集到的温度信息、形貌图像和反射光图像进行预处理,数据融合模块,将预处理后的信息和图像进行融合,形成多模态特征向量,三维重建模块,通过三维重建算法和多模态数据集生成半导体封装的三维图像,缺陷识别模块,基于多模态特征向量建立缺陷识别模型,输出缺陷识别结果。本发明通过CNN的多尺度分析,能捕捉不同尺度下的缺陷,并通过自注意力机制动态调整各模态的权重,确保能根据实际情况灵活调整检测策略,提高了缺陷识别的精确度和灵活性。
技术关键词
半导体封装
图像
三维重建算法
生成半导体
多模态
反射光
实时数据
报告
Gabor滤波器
偏光
数据采集模块
温度变化信息
体绘制技术
注意力机制
纹理特征
光学检测设备
热成像设备
偏差
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