一种芯片检测方法、装置、设备以及计算机存储介质

本申请实施例提供了一种芯片检测方法、装置、设备以及计算机存储介质，包括：确定出目标晶圆中目标区域对应的面形信息，并根据面形信息进一步确定出目标区域中多个子区域对应的相机触发频率。每个子区域对应分配有合适的相机触发频率，有效保证图像采集时精准采集到区域内的每个像素点，避免因面形起伏导致的像素堆积或者松散。根据每个子区域对应的相机触发频率，精准采集得到目标晶圆对应的目标晶圆图像。根据目标晶圆图像，对目标晶圆中的芯片进缺陷检测。有效提升采集图像的准确性和实用性，为不同区域分配不同相机触发频率，精确保证每个区域像素点的采集真实有效。极大程度上避免了后续检测过程中假缺陷的产生，提升检测精度和检测效率。