一种滤光膜厚度检测装置及检测方法

本发明涉及滤光膜技术领域，公开了一种滤光膜厚度检测装置及检测方法。该方法：获取第一平行光束、第二平行光束和第三平行光束；将待测滤光膜样品固定在样品台上并对待测滤光膜样品进行测量，得到反射光谱和初始折射率参数；利用第一平行光束、第二平行光束和第三平行光束照射待测滤光膜样品，并根据初始折射率参数将测量区域划分为多个子区域，并通过最小二乘法拟合得到每个子区域的最优厚度值和折射率值；基于最优厚度值、折射率值和反射光谱建立光谱反射率与厚度的映射关系，并通过迭代算法求解和误差补偿计算，得到目标厚度分布图。本发明解决了大面积滤光膜厚度不均匀测量的难题，显著改善了滤光膜厚度检测的精度、效率和可靠性。