一种高精度无损基板玻璃在线测厚系统及方法

本发明涉及玻璃制造技术领域，尤其涉及一种高精度无损基板玻璃在线测厚系统及方法，包括有：位移传感器，用于初步测量基板玻璃的厚度；激光干涉传感器，用于精确测量基板玻璃的厚度；智能调整机构，用于根据基板玻璃的翘曲和摆动情况，动态调整位移传感器和激光干涉传感器的测量角度；数据处理模块，用于对测量数据进行实时校正和输出；安全防护机制，用于防止测量过程中对基板玻璃造成损伤；远程监控，用于实时监控系统运行状态和故障诊断。本发明通过结合位移传感器和激光干涉传感器的双重测量方式，实现了对基板玻璃厚度的精确测量；引入智能调整机构和数据处理模块，能够动态消除基板玻璃翘曲和摆动对测量结果的影响。