一种用于确定目标测试方案的方法、设备及介质

本申请涉及半导体测试技术领域。尤其是涉及一种用于确定目标测试方案的方法、设备及介质。该方法包括：获取待测试晶圆的芯片分布信息以及目标测试条件，其中，芯片分布信息包括矩阵排列的多个芯片以及每个芯片的测试需求信息；根据探针卡的测试能力、多个芯片的位置坐标信息生成待测试晶圆对应的候选测试步骤，其中，候选测试步骤包括探针卡单次覆盖的芯片的位置坐标信息；根据候选测试步骤确定待测试晶圆的目标测试方案，其中，目标测试方案包括多个目标测试步骤，目标测试方案满足目标测试条件。实现自动智能化确定满足目标测试条件的目标测试方案的目的。实现了测试路径的智能化确定，提高效率。