基于国产计算卡的半导体材料缺陷检测方法及相关设备

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基于国产计算卡的半导体材料缺陷检测方法及相关设备
申请号:CN202510453516
申请日期:2025-04-11
公开号:CN120338596A
公开日期:2025-07-18
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于国产计算卡的半导体材料缺陷检测方法及相关设备,涉及图像数据处理领域。方法包括获取待检测的半导体材料的微观结构图像;基于机器视觉技术,通过半导体微观结构识别模型对该微观结构图像进行识别处理,得到该半导体材料的微观结构特征;基于该微观结构特征判断该半导体材料是否存在缺陷;若是,则将该半导体材料标记为不合格材料。本发明能够精确获取和分析材料的微观结构图像,综合评估表面缺陷、晶格结构完整性和掺杂均匀性等关键特征,从而实现对半导体材料缺陷的快速、自动化检测,有效提高了检测的准确性和效率。本发明利用国产计算卡,减少了对进口计算平台的依赖,降低了成本,提高了技术自主可控性和安全性。
技术关键词
半导体材料 微观结构特征 半导体微观结构 质检模型 缺陷检测方法 计算机程序代码 机器视觉技术 服务器 计算机程序产品 分拣设备 生成半导体 图像数据处理 数据存储模块 指令 标记 标识 存储器 处理器
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