一种离子注入缺陷高精度无损检测方法及系统

本发明公开了一种离子注入缺陷高精度无损检测方法及系统，涉及无损检测技术领域，包括，选择测量光源采集反射光强度数据，使用斯托克斯矢量表示偏振光的强度分布，计算椭偏参数并确定折射角数据，通过菲涅耳公式计算复折射率并确定折射率和消光系数，分析材料的整体复介电常数；进行晶体材料区域划分，使用非线性回归法得到优化区域复介电常数，结合区域占比值构建三层复合介质模型。本发明所述方法通过计算斯托克斯参数，能够通过数值分析揭示材料内部的微观不均匀性，提高对损伤区域的解析度，通过对晶体材料区域划分，能够在离子注入后精确地区分晶态硅、非晶硅和应变硅的分布情况，提高对材料微观结构变化的解析能力。