一种基于图像处理的GSG探针针尖定位方法

本公开实施例中提供了一种基于图像处理的GSG探针针尖定位方法，属于图像处理技术领域，具体包括：步骤1，获取晶圆与探针台的原始图像并基于高斯模糊和下采样算法对其进行压缩，得到压缩图像；步骤2，对压缩图像进行阈值分割，获得初始二值图像；步骤3，采用旋转匹配方法定位初始二值图像中的探针区域和探针角度；步骤4，根据探针角度对原始图像中的探针区域进行图像预处理，获得探针区域二值图像；步骤5，在探针区域二值图像中进行直线检测，定位探针针尖。通过本公开的方案，提高了定位效率和精准度。