一种基于CRT电子管的半导体封装图形化光刻系统

本申请公开了一种基于CRT电子管的半导体封装图形化光刻系统。系统包括真空腔体、CRT电子枪模块、精密移动平台和原位光学监测单元。其中，CRT电子枪模块集成多级动态聚焦系统和数字化偏转校正算法，能够实时调节电子束焦点位置并校正几何畸变，确保高精度光刻。系统还配备电荷中和单元，适用于非导电基板的光刻需求。通过改进型CRT电子管技术，结合多级动态聚焦系统和数字化偏转校正算法，本发明实现了高精度图形化光刻。