一种多芯片共晶加热装置及其使用方法

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一种多芯片共晶加热装置及其使用方法
申请号:CN202510474590
申请日期:2025-04-16
公开号:CN120015670B
公开日期:2025-09-23
类型:发明专利
摘要
本申请涉及半导体封装的技术领域,尤其是涉及一种多芯片共晶加热装置及使用方法,其包括多组件协同工作的核心结构设计:设有可视共晶箱、加热模块、降温模块以及定位装置等关键部分。其中,加热模块结合脉冲供电单元实现精准控温,降温模块通过多方位吹气孔快速冷却,定位装置确保工件稳定夹持与精确调整。此外,保护气氛供给模块营造理想共晶环境,校准机构辅助高精度定位,风刀保障视觉检测清晰。本申请达到了高效可控的多芯片共晶加工目的,显著提升了生产效率与产品质量,同时优化了工艺稳定性与适应性。
技术关键词
共晶 多芯片 补偿机构 加热座 降温模块 校准机构 加热片 监测器 加热模块 核心结构设计 升降机构 激光传感器 排风 风刀 工件 供电单元 机座 视觉 视窗
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