用于FIB设备的离子束能量自适应调控方法及系统

本发明提供一种用于FIB设备的离子束能量自适应调控方法及系统，通过获取离子束在聚焦区域的能量分布参数，根据所述能量分布参数与预设的离子束能量参考模型，确定目标能量调节范围，基于所述目标能量调节范围生成多级能量调节指令，通过所述多级能量调节指令控制离子束能量调节器的输出参数，使离子束的当前能量分布进入所述目标能量调节范围，实时检测调节后的离子束在样本表面的能量波动数据，根据所述能量波动数据与预设的自适应补偿算法，调整所述离子束能量调节器的反馈控制参数，使所述离子束的能量分布维持在所述目标能量调节范围内。本发明可以实现工业加工更优的加工表面质量与工艺一致性。