实时监测反馈的FIB设备加工参数优化方法及系统

本发明提供一种实时监测反馈的FIB设备加工参数优化方法及系统，通过实时采集FIB设备的加工环境监测数据和加工效果监测数据，生成实时监测数据集合，根据实时监测数据集合中的加工环境特征参数集和加工效果特征参数集，对实时监测数据集合进行参数特征提取处理，生成参数特征向量集合，将参数特征向量集合输入至预训练的动态参数优化模型，生成优化参数调整指令集合，根据优化参数调整指令集合，对FIB设备的当前加工参数进行调整，生成调整后加工参数集，然后基于调整后加工参数集执行实时加工，并循环执行实时采集的过程以更新实时监测数据集合。本发明能满足高精度复杂结构加工对实时性、稳定性及能效协同的要求。