一种生物芯片的基底后处理装置及其工作方法

本发明涉及生物芯片的自动化制造技术领域，具体是一种生物芯片的基底后处理装置及其工作方法，该装置包括顶架和工作台，所述顶架上设有三轴模组Ⅱ，所述工作台上设有浸泡机构、清洗机构和甩干机构，所述浸泡机构包括至少一个浸泡箱，所述清洗机构包括至少一个清洗槽，所述甩干机构包括至少一个甩干机，基底由所述三轴模组Ⅱ带动在浸泡箱、清洗槽和甩干机依次转运。通过设置多个自动化的工艺位置，通过三轴模组在各工艺位置之间移动基底或其它物料，极大提高了制造效率，实现基底后处理过程的完全自动化，不需要人工干预。