一种半导体制备废气体过滤效果评估方法及系统

本发明公开了一种半导体制备废气体过滤效果评估方法及系统，具体涉及废气过滤技术领域；通过多类型传感器同步采集响应数据，提取包括异常谱图形态特征与时间变化梯度特征在内的干扰特征，并基于历史实验数据与气体干扰机制，构建机器学习模型预测误差严重程度，依据误差等级实施差异化浓度校正策略，获得经修正后的目标气体浓度值，最终用于准确评估过滤系统的净化效率，本发明实现了对交叉干扰的智能识别与修正，显著提升了废气监测的准确性与系统评估的可靠性。