一种偏振无关的O Band SOA的制备方法

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一种偏振无关的O Band SOA的制备方法
申请号:CN202510492289
申请日期:2025-04-18
公开号:CN120357275A
公开日期:2025-07-22
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种偏振无关的O Band SOA的制备方法,属于芯片制备领域。所述方法,通过使用张应变量子阱和晶格匹配垒的有源区材料,来获得低偏振相关增益(<1dB)的SOA芯片。本发明制备的偏振无关的SOA芯片不仅容易制备,同时也为后续的封装提供了便捷。
技术关键词
有源区材料 电子阻挡层 芯片 波导 欧姆接触层 偏振控制器 金属沉积 覆层 掩模 增透膜 输出光 外延 电镀 光谱仪 光刻胶 层厚度 手摇 衬底 盐酸
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