一种用于生物分子间结合动力学检测的传感器芯片及其制备方法和应用

本发明提供一种用于生物分子间结合动力学检测的传感器芯片及其制备方法和应用，涉及传感器芯片技术领域，本发明生物分子间结合动力学检测的传感器芯片包括：控制基底和传感基底，传感基底的顶端与控制基底的底端相键合，传感基底的顶端挖设有被反应槽覆盖的第一积液槽，第一积液槽的上方架设有结构薄膜或敏感薄膜，敏感薄膜的顶端设有局部修饰区，结构薄膜和敏感薄膜的侧壁上均周向均布有四个悬臂梁与第一积液槽的内壁固定连接，每个悬臂梁的顶端均设有压阻，处于同一第一积液槽上方的每相邻的两个压阻通过引线相连接以形成惠斯通电桥，每条引线均连接焊盘，本发明制得的传感器芯片灵敏度高，分辨率高，温度漂移小，成本低，可实现小型化检测。