一种光电镊芯片及其制造方法

本申请公开了一种光电镊芯片及其制造方法，本申请的一种光电镊芯片，在基底上设置光电导单元，当光束照射在该光电导单元上时能激发产生介电泳力，能实现对细胞的有效操控。通过在基底上设置纵向的第一光电导层和第二光电导层，不会出现采用单一的光电导材料沉积时，因为沉积高度过高容易导致的位错、悬挂键等缺陷；第一光电导层的材质和第二光电导层采用的光电导材料不同，可根据不同的响应速度进行搭配，使得光电导单元兼具快速响应并增强局部电场的效果。通过在相邻的两个光电导单元之间填充介电材料，能优化横向电场的分布，使得整个芯片对于细胞的操控效果更稳定，避免出现操控力忽高忽低的现象。