一种新型金属微条电离室

本发明公开了一种新型金属微条电离室，属于束流位置探测技术领域，包括由两对阳极板和两对阴极板组成；所述阳极板由多条金属微条电极采用CMOS工艺集成在裸露的顶层金属上，并与读出电子学集成于同一芯片；本发明通过采用CMOS工艺将电荷收集电极与读出电路集成于同一片芯片内，即金属微条与读出电路集成于同一芯片，相比于传统的电离室，具有更高的位置分辨率，并且无需键合处理，降低系统集成复杂度。