一种基于TDLAS吸收光谱的痕量氢气浓度传感系统

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一种基于TDLAS吸收光谱的痕量氢气浓度传感系统
申请号:CN202510528087
申请日期:2025-04-25
公开号:CN120064206B
公开日期:2025-08-22
类型:发明专利
摘要
本发明涉及氢气浓度检测技术领域,具体公开了一种基于TDLAS吸收光谱的痕量氢气浓度传感系统,用于解决有TDLAS氢气检测中存在的检测灵敏度低、线性范围窄、系统漂移大及依赖外部校准的问题,包括激光发射模块和光电探测模块,激光发射模块和光电探测模块通过双光路吸收模块相连,光电探测模块连有谐波提取模块,谐波提取模块连有归一化处理模块,归一化处理模块连有浓度反演模块;本发明通过构建对称双光路结构、采用谐波信号归一化与差分补偿算法,结合高压参考气体池与分段拟合模型,实现了氢气在0.01%~100%内的高线性度、高灵敏度、免校准浓度检测,提升了氢气痕量识别能力。
技术关键词
氢气浓度传感 离轴抛物面镜 光电探测模块 二次谐波信号 窗片 光电探测器 激光发射模块 滤光片 光学组件 吸收模块 分束器 激光器 二极管激光吸收光谱 光束 双光路 分段拟合模型 气体
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