摘要
本发明涉及氢气浓度检测技术领域,具体公开了一种基于TDLAS吸收光谱的痕量氢气浓度传感系统,用于解决有TDLAS氢气检测中存在的检测灵敏度低、线性范围窄、系统漂移大及依赖外部校准的问题,包括激光发射模块和光电探测模块,激光发射模块和光电探测模块通过双光路吸收模块相连,光电探测模块连有谐波提取模块,谐波提取模块连有归一化处理模块,归一化处理模块连有浓度反演模块;本发明通过构建对称双光路结构、采用谐波信号归一化与差分补偿算法,结合高压参考气体池与分段拟合模型,实现了氢气在0.01%~100%内的高线性度、高灵敏度、免校准浓度检测,提升了氢气痕量识别能力。
技术关键词
氢气浓度传感
离轴抛物面镜
光电探测模块
二次谐波信号
窗片
光电探测器
激光发射模块
滤光片
光学组件
吸收模块
分束器
激光器
二极管激光吸收光谱
光束
双光路
分段拟合模型
气体
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