一种半导体生产设备动态瓶颈预测方法、装置及电子设备

本申请属于半导体制造技术领域，具体公开了一种半导体生产设备动态瓶颈预测方法、装置及电子设备。该方法包括：获取半导体生产线上各个半导体生产设备的多源运行数据集；对各多源运行数据集中的各类运行数据进行标准化处理，得到各个标准化的多源运行数据集；将各个标准化的多源运行数据集输入至设备瓶颈预测模型，得到设备瓶颈预测模型输出的各个半导体生产设备的瓶颈预测结果；设备瓶颈预测模型是根据多源运行数据集样本及对应的设备瓶颈标签训练得到的；多源运行数据集包括在制品水位数据、设备能效数据、设备正常运行时长数据和设备产能数据。通过本申请，可以有效识别出生产线上的瓶颈设备，提升半导体生产设备动态瓶颈预测的精度。