摘要
一种集成电路芯片扇出型封装再布线层的制作方法,属于集成电路封装技术领域。包括以下步骤:将制作好芯片的整片芯片晶圆进行表面处理后切割成单颗芯片,将芯片正面朝下临时粘贴于玻璃载板上,通过第一EMC塑封重构成为新的重构晶圆;将重构晶圆去除玻璃载板后通过微纳打印技术制作第一再布线层;在第一再布线层上再次进行第二EMC塑封,刻蚀出通孔;进行中间层布线层制作,中间层塑封并制作层间对应的通孔,在顶层EMC塑封层制作引线孔;将BGA金属球放置于引线孔位置,回流焊接,最后切割成单颗成品芯片。解决了现有技术中工艺复杂、生产效率低、生产成本高、浆料打印线宽较大的问题。适用于集成电路芯片扇出型封装再布线层技术领域。
技术关键词
扇出型封装
集成电路芯片
水溶性助焊剂
晶圆
重构
纳米浆料
免清洗型助焊剂
中间层
集成电路封装技术
开孔尺寸
布线层设计
制作引线孔
玻璃
层厚度
激光
纳米铜浆
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